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重量 約48kg
出力コネクタ N型
本高周波電源は、高周波スパッタリング、プラズマCVD、エッチングなどの用途に適する物です。
高周波負荷に対して13.56MHzで最大1kWの高周波電力を供給出来ます。
| リストNO | 1771 |
|---|---|
| 品名 型式 |
高周波電源 AX1000 |
| メーカー | ADTEC |
| 仕様1 | 13.56MHz 1KW 空冷 |
| 仕様2 | 外形寸法 430W×536D×220hmm |
| 仕様3 | 整合器別 |
| 仕様4 | 入力 200V 3相 |
| 製造年 | 1994年 |
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