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冷却水：
本体 1.5〜2kg/cm2 10ℓ/min 25℃以下
RF 1.5〜2kg/cm2 5ℓ/min 25℃以下
設置面積：1200W×1020D×1820Hmm
重量：490kg
| リストNO | 1776 |
|---|---|
| 品名 型式 |
スパッタ装置 SPF-312H |
| メーカー | キヤノンアネルバ |
| 仕様1 | スパッタ室 Φ350×250hmm |
| 仕様2 | マグネトロンΦ6”×1基 |
| 仕様3 | RF 2400W 真空計付 基板加熱有 |
| 仕様4 | DP 4”RP 260L/min |
| 製造年 | 1991年 |
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