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バイポーラパルスDC
冷却 空冷
反応性スパッタに最適
| リストNO | 1803 |
|---|---|
| 品名 型式 |
パルスDC電源 RPG-100 |
| メーカー | ENI |
| 仕様1 | スパッタ用 50〜250kHz 10kW |
| 仕様2 | バイポーラパルスDC |
| 仕様3 | 入力 200V 3相 |
| 仕様4 | ケーブル別 2台有 |
| 製造年 | 1997年 |
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装置:再利用真空機器
完全オーバーホールを実施して性能確認した中古真空機器・装置の販売・メンテナンス及びレンタル。取扱商品はスパッタ装置・真空蒸着装置をはじめとして、Heリークディテクタ等の計測器や電源・電子銃・真空計・ポンプ等の単品も販売しています。