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多目的な薄膜作成を可能にする操作性の優れたバッチ方式。
安定した生産に応える実績ある排気系。
| リストNO | 1825 |
|---|---|
| 品名 型式 |
真空蒸着装置 BMC-1300 |
| メーカー | シンクロン |
| 仕様1 | チャンバーΦ1300×1660hmm(有効高さ1500mm） |
| 仕様2 | EB 12点式×2 10KW EB電源 JST-10F |
| 仕様3 | 光学式膜厚計 OPM-8 基板加熱 MAX450℃（350℃基準） |
| 仕様4 | DP 22”2台 メカブ 600m3/h RP 3000L/m |
| 製造年 | 1996年 |
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