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冷却水：2.0kW ポンプ流量32L
電力 AC200V 3φ 10KVA以上
圧縮空気：圧力0.1〜0.9MPa
外形寸法：
本体 1630W×1455D×2150H
高電圧パルス電源部 850W×900D×1750H
操作盤：540Wx600Dx1570H x2
| リストNO | 1833 |
|---|---|
| 品名 型式 |
DLC成膜装置 PBII-D |
| メーカー | 栗田製作所 |
| 仕様1 | チャンバー：横型（丸型） φ650xL450mm |
| 仕様2 | RF電源 13.56MHz JRF-3000（パルス仕様） 重畳式高電圧パルス電源PBII |
| 仕様3 | ガス Ar 100sccm/C2H2 100sccm/CH4 100sccm/(C6H5)CH3 100sccm |
| 仕様4 | DP 6”MBP+RP |
| 製造年 | 2003年 |
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