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ライトプロセス用
吸気口 NW25
外形寸法 180W×520L×350H
重量 約35kg
| リストNO | 60440  |
|---|---|
| 品名 型式 |
ドライポンプ CR30A |
| メーカー | ULVAC |
| 排気速度60Hz | 500 L/m |
| 排気速度50Hz | 500 L/m |
| 仕様1 | 到達圧力：3Pa |
| 備考 | 100V |
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メカポンプ:再利用真空機器
完全オーバーホールを実施して性能確認した中古真空機器・装置の販売・メンテナンス及びレンタル。取扱商品はスパッタ装置・真空蒸着装置をはじめとして、Heリークディテクタ等の計測器や電源・電子銃・真空計・ポンプ等の単品も販売しています。