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精度 ±0.5％ 制御範囲 2〜100％
| リストNO | 80101 |
|---|---|
| 品名 型式 |
マスフロー SEC-E40 |
| メーカー | エステック |
| 仕様1 | Ar 500SCCM |
| 備考 | VCR 2台有 |
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