
基板クリーニング用プラズマ処理装置です
下部電極に基板をのせて処理を行いますのでどのような形状でも処理可能です。
(Φ550mm、厚み10mm以内)
リストNO | 1283 ![]() |
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品名 型式 |
スパッタエッチング装置 SPF-710特 |
メーカー | キヤノンアネルバ |
仕様1 | SUSチャンバー 1335×750×150hmm |
仕様2 | 平行平板型 RF 5KW |
仕様3 | 電極Φ550 1基 |
仕様4 | DP 10” RP 1000L/min |
製造年 | 1982年 |
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