
特にコンパクトディスク用のアクリル基板上への成膜を目的とし膜厚分布、基板温度に対して独特の工夫を盛り込んでいる。
スパッタ方式:デポアップ式
外形寸法:
本体 1300W×1600D×1800H
操作盤 600W×700D×1750H
電装品BOX 600W×700D×1750H
RF電源 600W×700D×1500H
DC電源 600W×550D×1100H
クライオコンプレッサ 450W×500D×550H
リストNO | 1512 ![]() |
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品名 型式 |
スパッタ装置 SLC-11S |
メーカー | 島津製作所 |
仕様1 | LD室 370×550×450hmm |
仕様2 | スパッタ室 650×550×450hmm |
仕様3 | マグネトロン 6” 3基 RF 1KW DC 2KW 膜厚計付 |
仕様4 | LD室 ターボ 5”スパッタ室 クライオ 12” RP 900L/min |
製造年 | 1986年 |
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