
成膜範囲250mm
リストNO | 1632 ![]() |
---|---|
品名 型式 |
ロードロックスパッタ装置 MLH-6315E |
メーカー | アルバック |
仕様1 | ターゲット 5”×15” 3基 |
仕様2 | トレイ2枚/バッチ基板加熱 150℃ |
仕様3 | DC10kW 2台 逆スパッタ付 |
仕様4 | クライオ10”、12”各1台 RP 950L/min |
製造年 | 1983年 |
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完全オーバーホールを実施して性能確認した中古真空機器・装置の販売・メンテナンス及びレンタル。取扱商品はスパッタ装置・真空蒸着装置をはじめとして、Heリークディテクタ等の計測器や電源・電子銃・真空計・ポンプ等の単品も販売しています。
成膜範囲250mm
リストNO | 1632 ![]() |
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品名 型式 |
ロードロックスパッタ装置 MLH-6315E |
メーカー | アルバック |
仕様1 | ターゲット 5”×15” 3基 |
仕様2 | トレイ2枚/バッチ基板加熱 150℃ |
仕様3 | DC10kW 2台 逆スパッタ付 |
仕様4 | クライオ10”、12”各1台 RP 950L/min |
製造年 | 1983年 |
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