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成膜範囲250mm
| リストNO | 1632  |
|---|---|
| 品名 型式 |
ロードロックスパッタ装置 MLH-6315E |
| メーカー | アルバック |
| 仕様1 | ターゲット 5”×15” 3基 |
| 仕様2 | トレイ2枚/バッチ基板加熱 150℃ |
| 仕様3 | DC10kW 2台 逆スパッタ付 |
| 仕様4 | クライオ10”、12”各1台 RP 950L/min |
| 製造年 | 1983年 |
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