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【仕様】
排気操作：自動
ガス導入機構：ニードルバルブ（システム制御）
| リストNO | 1820 |
|---|---|
| 品名 型式 |
スパッタ装置 SC-701HMCII |
| メーカー | サンユー電子 |
| 仕様1 | スパッタ室Φ160×D160mm(SUS) |
| 仕様2 | ターゲット Φ49mm・試料台 φ70mm |
| 仕様3 | 電源 DC 3KV 0〜50mA |
| 仕様4 | 排気系 RP |
| 製造年 | 2010年 |
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