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動作範囲 10-3〜10-10Pa
起動可能圧力 1×10-2Pa以下
最大加熱温度 250℃
質量 38kg
| リストNO | 5363  |
|---|---|
| 品名 型式 |
イオンポンプ 912-7100 |
| メーカー | キヤノンアネルバ |
| 吸気口径 | CF152 |
| 排気速度60Hz | 125 L/s |
| 材質 | SUS |
| 備考 | 制御装置 PIC-052NP |
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高真空ポンプ:再利用真空機器
完全オーバーホールを実施して性能確認した中古真空機器・装置の販売・メンテナンス及びレンタル。取扱商品はスパッタ装置・真空蒸着装置をはじめとして、Heリークディテクタ等の計測器や電源・電子銃・真空計・ポンプ等の単品も販売しています。