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CRYO-U16の高負荷型。
最大流量
アルゴン Pa・L/s(Torr・L/s) 1.6×103(12)
水素 4.5×102(3.4)
吸気口フランジ UVG-400
コンプレッサーユニット C30VR
重量 61kg
| リストNO | 5391  |
|---|---|
| 品名 型式 |
クライオポンプ U16P |
| メーカー | アルバック |
| 吸気口径 | 16” |
| 排気速度60Hz | 5000 L/s |
| 材質 | |
| 備考 |
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