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排気口 KF40
取付方向 全方位
電源 EI-D1003M
| リストNO | 5418  |
|---|---|
| 品名 型式 |
ターボ分子ポンプ TMP-1003M |
| メーカー | 島津製作所 |
| 吸気口径 | CF253 |
| 排気速度60Hz | 1080 L/s |
| 材質 | |
| 備考 | 空冷 磁気浮上 |
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高真空ポンプ:再利用真空機器
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