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外形寸法：280W×590L×300hmm
重量：110kg
冷却水：1.5L/min
N2パージ：20-50sccm
電源：3相 208V
吸気口径：NW50
排気口径：NW25
| リストNO | 60396  |
|---|---|
| 品名 型式 |
ドライポンプ T100P |
| メーカー | トヨタ |
| 排気速度60Hz | 1670 L/m |
| 排気速度50Hz | 1670 L/m |
| 仕様1 | 到達真空度 1.2Pa |
| 備考 |
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