ドライポンプ MU100N-23

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詳細情報

ライトプロセス用

吸気口 NW50  
冷却水 2〜3ℓ/min
N2流量 0 or 5
外形寸法 230W×450L×275H
重量 約60kg

商品情報

リストNO 60408
品名
型式
ドライポンプ
MU100N-23
メーカー 樫山工業
排気速度60Hz 1660 L/m
排気速度50Hz 1660 L/m
仕様1 到達圧力:1.5Pa
備考 200V 3相

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