ライトプロセス用
吸気口 NW50
冷却水 2〜3ℓ/min
N2流量 0 or 5
外形寸法 230W×450L×275H
重量 約60kg
リストNO | 60408 |
---|---|
品名 型式 |
ドライポンプ MU100N-23 |
メーカー | 樫山工業 |
排気速度60Hz | 1660 L/m |
排気速度50Hz | 1660 L/m |
仕様1 | 到達圧力:1.5Pa |
備考 | 200V 3相 |
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完全オーバーホールを実施して性能確認した中古真空機器・装置の販売・メンテナンス及びレンタル。取扱商品はスパッタ装置・真空蒸着装置をはじめとして、Heリークディテクタ等の計測器や電源・電子銃・真空計・ポンプ等の単品も販売しています。
ライトプロセス用
吸気口 NW50
冷却水 2〜3ℓ/min
N2流量 0 or 5
外形寸法 230W×450L×275H
重量 約60kg
リストNO | 60408 |
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品名 型式 |
ドライポンプ MU100N-23 |
メーカー | 樫山工業 |
排気速度60Hz | 1660 L/m |
排気速度50Hz | 1660 L/m |
仕様1 | 到達圧力:1.5Pa |
備考 | 200V 3相 |
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