ドライポンプ CR30A

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詳細情報

ライトプロセス用

吸気口 NW25  
外形寸法 180W×520L×350H
重量 約35kg

商品情報

リストNO 60440
品名
型式
ドライポンプ
CR30A
メーカー ULVAC
排気速度60Hz 500 L/m
排気速度50Hz 500 L/m
仕様1 到達圧力:3Pa
備考 100V

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