
外形寸法:400W×1020L×835H
重量:410kg
冷却水:3.5〜8L/min
N2供給圧:0.15〜0.7MPa
吸気口径:NW80
排気口径:NW40
ダクト接続:φ50mm×50Lmm
・大型真空チャンバの高速排気用途に最適
LCDスパッタ装置・真空乾燥プロセス・大型ロードロック室等の高速排気性能に優れ、ガス負荷に応じた回転速度自動制御機能・通信機能等の付加価値を搭載した独立設置型ドライポンプです。
リストNO | 60456 ![]() |
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品名 型式 |
ドライポンプ(未使用品) ESA200W(SEMI対応) |
メーカー | 荏原製作所 |
排気速度60Hz | 20000 L/m |
排気速度50Hz | 20000 L/m |
仕様1 | 到達圧力:0.53Pa |
備考 | 2台有 200V 3相 |
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