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吸気口 VG80
冷却水流量 >5.0L/min
外形寸法 378W×910L×831H
重量 約251kg
| リストNO | 60475  |
|---|---|
| 品名 型式 |
ドライポンプ LR300 |
| メーカー | アルバック |
| 排気速度60Hz | 6080 L/m |
| 排気速度50Hz | 5980 L/m |
| 仕様1 | 到達圧力：0.67Pa |
| 備考 | 200V 三相 |
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メカポンプ:再利用真空機器
完全オーバーホールを実施して性能確認した中古真空機器・装置の販売・メンテナンス及びレンタル。取扱商品はスパッタ装置・真空蒸着装置をはじめとして、Heリークディテクタ等の計測器や電源・電子銃・真空計・ポンプ等の単品も販売しています。