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ガス放出の少ないポリイミド樹脂を使用していますので超高真空での使用に最適です。
【仕様】
使用真空領域：大気圧〜10-8Pa程度
許容加熱温度：MAX300℃
連続加熱温度：260℃
コンダクタンス：1L/sec
リーク量：6.7×10-11Pa・m3/sec以下
| リストNO | 7867 |
|---|---|
| 品名 型式 |
L型バルブ 951-7145 |
| メーカー | キヤノンアネルバ |
| フランジ径 | CF34 |
| 材質 | SUS |
| 備考 | 手動 ポリイミド 3台有 |
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