中古真空情報 30504

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サイドスパッタリング装置
1) メーカー:芝浦 型式:CFS-4EP  ・ターゲット:φ3" 3基  ・基板:回転・加熱有
                           ・電源:DC電源  3台   ・メインポンプ:クライオポンプ  
 
 
  
 
 
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2013.05.15.2322