中古真空情報 31101

全国の皆さまから寄せられる、様々な真空関連機器の情報を発信して行きます。
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ロードロック付平行平板型スパッタ装置
 
メーカー:キヤノンアネルバ
型式:E-800S
年式:2010年
 
ターゲット:φ8インチ×2 φ6インチ×2
SP室:W1172×D1060×H511mm
LL室:W1000×D1060×H556mm
 
電源(切替):RF5kW(正側・パルス機能付) 600W(逆側)
        DC電源6kW DCパルス
 
排気系:ターボ 3000L/sec ドライ 1660L/min
 
5段大気ストッカー装備
   
 

  装置 正面右-001.JPG      装置 正面左-001.JPG

装置裏.JPG

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2013.11.29