PECVDシステム
メーカー：AKT 型式：AKT5500
基板サイズ：680×880mm
LCDディスプレイ用の大面積のガラス基板上に絶縁膜を成膜する装置です。
ドープおよびアンドープのアモルファスシリコン膜（a-Si）、酸化膜、酸窒化膜（SiON）、窒化膜、それらの連続 積層膜など、さまざまな用途に対応する装置です。
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2017.12.26