■画像をクリックすると拡大写真が表示されます
冷却水：
本体 2.5kg/cm2 6ℓ/min 25℃以下
カソード 2.5kg/cm2 2.5ℓ/min 25℃以下
圧空：6kg/cm2
ガス：Ar 50sccm
O2 50sccm
設置面積：1100W×700D×1700H
重 量：650kg
| リストNO | 1826 |
|---|---|
| 品名 型式 |
スパッタ装置 SPF-410H |
| メーカー | キヤノンアネルバ |
| 仕様1 | スパッタ室 Φ400×140hmm |
| 仕様2 | マグネトロン10”1基 |
| 仕様3 | RF 5KW 逆スパッタ付 真空計付 基板加熱有 |
| 仕様4 | CP RP 600L/min |
| 製造年 | 1991年 |
価格を表示するにはユーザー登録が必要です。
ID、パスワードをお忘れの方はこちらまで >>。
