マスフローコントローラー
1000シリーズ
高性能ガス流量制御器
マスフローコントローラーの基本機能に特化したアナログ低価格モデルです。
各種分析・成膜・理化学などの実験研究・製造用途など幅広い分野でご使用頂けます。
表示設定器付専用電源PA01はこちら>>
制御電源一体型CUBEMFCシリーズはこちら>>
- マスフローコントローラーの基本機能に特化した低価格モデル
- スタート時のフローサージ現象（オーバーシュート）を抑制
（30秒以上のインターバルが必要） - 入出力:アナログ 0〜5VDC
- 据置型専用電源【PA01S】とパネルマウント型専用電源【PA01PS】2種類をご用意
■仕様
| 型式 | C1000(マスフローコントローラー) |
|---|---|
| 流量レンジ | 10/20/30/50/100/200/300/500SCCM 1/2/3/5SLM |
| 流体 | 気体 |
| バルブ型式 | ノーマルオープン |
| 流量制御範囲 | 5〜100％F.S. |
| 流量精度 | ±2%F.S.(精度保証範囲 15〜35℃) |
| 再現性 | ±0.2%F.S. |
| 応答性 | 6sec（設定値の±2％まで） |
| 動作圧力範囲 | 50〜300kPa |
| 耐圧 | 1MPa（G） |
| 外部リークレート | 1×10-7Pa・m3/sec(He)以下 |
| 使用可能温度 | 5〜50℃ 85%RH以下 （精度保証：15℃〜35℃） |
| 駆動電源 | +15VDC±5% 60mA -15VDC±5% 150mA |
| 通信方式 | アナログ 0〜5VDC (D-Sub 9Pin コネクタ-) |
| 接ガス部材質 | SUS316 PTFE フッ素ゴム |
| シール部材質 | フッ素ゴム |
| 表面処理 | 機械加工仕上げ |
| 継手 | 1/4SWL(スウェージロック),フジキン製その他の継手についてはご相談下さい。 |
※流量（SCCM.SLM）は0℃、101.3kPa abs.(1atm)に換算して校正しています。
■品番表示例
| C1005 - 10 - 4SWL - Ar - 1 - PA01S |
| C1005 - 流量:10SCCM - 継手:1/4スウェージロック - ガス種:Ar - 信号ケーブル長さ:1m - 専用電源:据置型 |
| 流量 | 10/20/30/50/100/200/300/500SCCM 1/2/3/5SLM |
|---|---|
| 接続継手 | 1/4 SWL(スウェージロック) 他 |
| ガス種 | 例: N2・Ar・O2等 |
| 信号ケーブル | 標準1ｍ |
表示設定器付専用電源
PA01シリーズ
- 低価格
- 流量設定と表示のみのシンプル設計で操作が簡単。
- 正面のデジタルパネルは、％表示（0〜100.0％）です。
- 背面に設定及び出力電圧（0〜5ＶＤＣ）の出力端子を標準装備。
■仕様
| 型式 | PA01シリーズ |
|---|---|
| 入力電源 | AC100V |
| 電源出力 | 0〜5VDC：設定信号 +15VDC 300mA -15VDC 200mA |
| 流量設定 | 0.25〜5VDC 10回転ポテンションメーターにて可変 |
| 流量設定/出力表示 | 0.0〜100.0％ |
| 表示切替（設定/出力） | トグルスイッチ |
| 信号ケーブル用コネクター | D-Sub 9PIN コネクター |
| 使用環境 | 温度：5〜50℃ 湿度：30〜80％（結露なきこと） |
| 出力端子（設定/出力） | 0〜5VDC（表示切替トグルスイッチに連動） |
| 付属品 | ACコード(2m) 信号ケーブル(標準1m) |
【 据 置 型 PA01S】
【 パネルマウント型 PA01PS】
【 設 置 例 】
制御電源一体型マスフローコントローラー CUBEMFCシリーズ
- 低価格マスフローコントローラー1000シリーズと制御電源をコンパクトにオールインワンした制御電源一体型マスフローコントローラーです。
- コンパクトサイズで、100V ACコンセントに接続するだけでご使用頂けます。
- スタート時のオーバーシュートを抑制（30秒以上のインターバルが必要）
- 入出力：アナログ（0〜5VDC）、背面に設定/出力電圧のモニター用端子を装備。
■仕様
| 型式 | CUBEMFC1005 |
|---|---|
| 流量（N2換算流量） | 10,20,30,50,100,200,300,500SCCM 1,2,3,5SLM |
| バルブタイプ | NO：ノーマルオープン（メーターの場合は対象外） |
| 制御流量範囲 | 5〜100％ F.S（メーターの場合は対象外） |
| 流量精度 | ±2％ F.S（精度保証範囲15〜35℃） |
| 流量設定 | 0.25〜5VDC、10回転ポテンションメーターにて可変 |
| 流量設定・出力信号／表示 | 0〜5VDC／DP表示：スケーリング表示（トグルスイッチにて設定・出力表示切替、背面設定・出力モニター端子連動） |
| 再現性 | ±0.2％ F.S |
| 応答時間 | 6sec |
| 必要差圧 | 50〜300KPa |
| 耐圧力 | 1MPa(G) |
| 使用保証温度 | 5〜50℃、85％RH以下 |
| 外部リーク | 1×10-7Pa･m3/sec He |
| 電源、消費電流 | 100VAC：500mA |
| 通信方式 | アナログ：0〜5VDC |
| 接ガス部材質 | SUS316L、PTFE、フッ素ゴム |
| シール部材質 | フッ素ゴム |
| アクチュエータ方式 | サーマル（メーターの場合は対象外） |
| 表面処理 | 機械加工仕上げ |
| 接続継手 | 1/4SWL(スウェージロック),フジキン製その他の継手についてはご相談下さい。 |
| 付属品 | ＡＣケーブル、取扱説明書 |
■品番表示例
| CUBEMFC1005 - 10 - 4SWL - Ar |
| CUBEMFC1005-流量:10sccm-継手:1/4スウェージロック-ガス種 Ar |
| 流量 | 10/20/30/50/100/200/300/500SCCM 1/2/3/5SLM |
|---|---|
| 接続継手 | 1/4 SWL(スウェージロック) 他 |
| ガス種 | 例: N2・Ar・O2等 |
